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氣體質(zhì)量流量控制器的原理是什么？
質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器、通道、電磁調節閥和電路板等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無(wú)需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量積算儀上設置有穩壓電源, 設定電位器, 和三位閥控開(kāi)關(guān)等。
使用氣體質(zhì)量流量控制器注意事項
1.怕粉塵, 若粉塵進(jìn)到氣體質(zhì)量流量控制器內部會(huì )阻塞傳感器和分流器, 導致數據誤差, 所以建議在MFC進(jìn)氣口前加裝過(guò)濾裝置;
2.怕液體和油漬進(jìn)到MFC, 一旦有液體進(jìn)入到MFC內部會(huì )導致無(wú)法控制,所以建議在MFC進(jìn)氣口前端還要加裝干燥裝置， 假如MFC的出口接有液體罐, 也要在MFC出口再加上單向閥, 避免液體流回;
3.怕應用濕冷的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì )使不銹鋼生銹, 導致MFC通道毀壞, 因而在應用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統開(kāi)展烘干解決;，并且在通腐蝕性氣體前要檢查管路的氣密性，還要使用惰性氣體對管路進(jìn)行吹掃，然后再通腐蝕性氣體，等MFC工作結束后還要使用惰性氣體再次吹掃一遍管路，保證管路中不會(huì )殘存腐蝕性氣體。
4.怕在應用強腐蝕性、有毒有害及yiranyibao氣體時(shí)不按安全性標準實(shí)際操作, 這樣有可能導致人身及商品毀壞和其他明顯的損害。
5.使用MFC前還需要將MFC進(jìn)行通電預熱，保證MFC在不通氣時(shí)，瞬時(shí)流量處于0的位置，如果不通氣時(shí)，瞬時(shí)流量顯示有一定的數值，表示傳感器出現“零漂”現象，可以先對MFC進(jìn)行調零處理，否則將影響MFC的精度。
如何通過(guò)質(zhì)量流量控制器判斷沒(méi)有氣體通過(guò)？
質(zhì)量流量控制器（MFC）是用來(lái)控制氣體流量的，質(zhì)量流量計（MFM）是用來(lái)測量氣體流量，如果你需要檢測氣體流量需要用MFM。 當然MFC還是有檢測方法的，如果通過(guò)氣體流量比較大，壓比較大，可以為MFC設定一個(gè)大流量，MFC會(huì )反饋一個(gè)值，這個(gè)值就是氣體的流量。 如果流量比較小，壓力比較小MFC就不能測出來(lái)了，因為MFC壓損通常是比較大的，如果氣體流量比較小，壓力比較小就沒(méi)辦法測量了，就需要抵壓損的MFM。
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